Aus Tropfen entsteht Licht

Auch in einer mehr als 100 Millionen Euro teuren Maschine tropft es, und das ziemlich oft. Denn die Energie des Lasers muss erst in Licht der richtigen Wellenlänge umgewandelt werden. Dazu trifft der im ersten Schritt erzeugte Laserpuls auf Tropfen aus Zinn, die im "Tropfengenerator" erzeugt werden - nun schon im Erdgeschoss und damit im Allerheiligsten der Chip-Fabrik, im Inneren des Waferscanners. 50 000-mal pro Sekunde erzeugt dieser Tropfengenerator einen wenige Mikrometer großen Zinntropfen, der vor dem Visier des Lasers vorbeirast. Ein erster schwächerer Laserpuls plättet diesen Tropfen zu einem flachen Pfannkuchen. Ein zweiter Schuss zerfetzt das Zinn. Das Element setzt infolge dieser Anregung Licht der Wellenlänge 13,5 Nanometer frei. Da die Tropfen etwa 250 km/h schnell sind, geschieht all das mit unvorstellbarer Präzision. Dutzende Kameras und Sensoren unterstützen den Laser. Die genaue Länge des Laserpulses ist geheim.

Bild: ASML 12. Juli 2019, 15:342019-07-12 15:34:24 © SZ.de/cvei