EUV-Technologie – So funktioniert die Herstellung von Mikrochips

Süddeutsche Zeitung

12. Juli 2019, 15:34 Uhr

EUV-Technologie:So funktioniert die Herstellung von Mikrochips

Ein "Waferscanner" überträgt den Bauplan eines Mikrochips auf Silizium mithilfe von kurzwelligem Licht. So funktioniert die Lithografie mit extrem ultravioletter Strahlung.

Von Christoph von Eichhorn

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