EUV-TechnologieSo funktioniert die Herstellung von Mikrochips

Ein "Waferscanner" überträgt den Bauplan eines Mikrochips auf Silizium mithilfe von kurzwelligem Licht. So funktioniert die Lithografie mit extrem ultravioletter Strahlung.

Von Christoph von Eichhorn

In einer Chip-Fabrik ist der Platz knapp, jeder Quadratmeter Reinraum ist teuer. Daher hat eine solche "Fab" zwei Etagen: Im Erdgeschoss findet die eigentliche Fertigung der Chips statt - mit Maschinen wie der oben abgebildeten - während im Untergeschoss alle Geräte untergebracht sind, die diesen Prozess am Laufen halten. In diesem "Maschinenraum" ist auch der Laser zu finden, mit dem die Chip-Herstellung beginnt.

Bild: ASML 12. Juli 2019, 15:342019-07-12 15:34:24 © SZ.de/cvei