Die Erzeugung von "extrem ultraviolettem Licht" (EUV) ist das eine, das andere ist, dieses Licht zu kontrollieren. Zunächst wird die Strahlung wie in einem Sonnenkollektor konzentriert, dann über Spiegel weiter in Richtung der Siliziumscheibe gelenkt. Diese Reflektoren müssen extrem glatt sein, damit sie das Licht nicht in die falsche Richtung lenken - schon wenige Nanometer könnten sich auf das Endergebnis fatal auswirken.
Hergestellt werden die Spiegel bei Zeiss in Oberkochen. "Von dem Licht, das hineingeschickt wird, muss so viel wie möglich wieder rauskommen", sagt Christian Buschek, Leiter der Abteilung "Rundoptik". Die Rohlinge, aus denen die Spiegel angefertigt werden, sind 100 Kilogramm schwere Keramikblöcke, deren genaue Zusammensetzung geheim ist. Diese wandern in einen Kasten, darin ein Roboterarm, auf den ein kleiner Wasserfall stürzt. Das Werkzeug fräst den Rohling mit einem Diamantbohrer in die richtige Form. 80 bis 100 Liter Wasser pro Minute sind nötig, um den Vorgang zu kühlen. Danach heißt es: polieren, polieren, polieren. In einer anderen Halle sieht man eine ganze Armada an Roboterarmen, die hinter Plexiglasscheiben eine milchige Paste auf die Spiegel auftragen, stundenlang, bis aus der Paste eine durchsichtige Flüssigkeit geworden ist und die Oberflächen wieder ein Stück glatter geworden sind. "Am Ende werden einzelne Atome mit einem Ionenstrahl abgekratzt", sagt Buschek.
So entstehen mit die glattesten Spiegel, die kommerziell zu haben sind. Wäre ein Spiegel so groß wie Deutschland, würde die maximale Abweichung von einer völlig ebenen Fläche nur wenige Zentimeter betragen. Besonders schwierig ist zu überprüfen, wie glatt die Oberflächen sind. Dafür braucht es wiederum genaue Messtechnik. Man darf sich das Endprodukt übrigens nicht wie einen sauberen Badezimmerspiegel vorstellen. Es handelt sich eher um milchig-braune Schüsseln, ausgelegt für die Reflexionseigenschaften von 13,5-Nanometer-Licht.